當(dāng)前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > 氣體檢測(cè)儀 > 半導(dǎo)體材料氣體 > XP-703DⅢ便攜式半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)器
簡(jiǎn)要描述:便攜式半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)器XP-703DⅢ半導(dǎo)體工廠/石油化學(xué)工廠等在使用半導(dǎo)體材料氣體/毒性氣體的現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行泄漏檢測(cè)檢測(cè)對(duì)象:H2丨AsH3丨B2H6丨SiH4丨PH3檢測(cè)濃度:1.0ppm丨0.5ppm丨0.2ppm丨0.5ppm丨0.3ppm檢測(cè)原理:熱線型半導(dǎo)體式采樣方式:自動(dòng)吸引式應(yīng)用行業(yè):半導(dǎo)體制造
詳細(xì)介紹
便攜式半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)器XP-703DⅢ
檢測(cè)對(duì)象
H2丨AsH3丨B2H6丨SiH4丨PH3
檢測(cè)濃度
1.0ppm丨0.5ppm丨0.2ppm丨0.5ppm丨0.3ppm
檢測(cè)原理
熱線型半導(dǎo)體式
采樣方式
自動(dòng)吸引式
應(yīng)用行業(yè)
半導(dǎo)體制造
01.便攜式氣體檢測(cè)器產(chǎn)品特點(diǎn)
小型·輕量
可以檢查非常微量的氣體泄漏
適合氫氣相關(guān)設(shè)備的安全防護(hù)
搭載的泵有自動(dòng)停止功能
搭載[自動(dòng)氣體排氣模式]功能
保護(hù)等級(jí)約為IP22(JIS C 0920)※安裝皮套時(shí)
02.便攜式氣體檢測(cè)器產(chǎn)品用途
半導(dǎo)體工廠/石油化學(xué)工廠等
在使用半導(dǎo)體材料氣體/毒性氣體的現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行泄漏檢測(cè)
03.便攜式半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)器XP-703DⅢ產(chǎn)品參數(shù)
半導(dǎo)體行業(yè)廢氣主要為有機(jī)廢氣和酸堿廢氣兩類。
有機(jī)類有:非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等;酸堿類有:氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。在半導(dǎo)體行業(yè)中造成環(huán)境污染的有害氣體,主要來源于芯片或者是線路板生產(chǎn)的清洗、均膠、去膠、刻蝕、顯影過程中。
半導(dǎo)體行業(yè)主要是元器件組裝焊接過程中對(duì)大氣的污染和電路板等器件清洗等表面處理過程中因使用一些化學(xué)藥劑(如硫酸、鹽酸、氟氯化碳、四氯化碳、三氯乙烷及其他有機(jī)鹵化物)揮發(fā)造成對(duì)大氣環(huán)境的污染,以及整機(jī)裝配過程中產(chǎn)生的機(jī)械噪聲和少量粉塵也會(huì)造成環(huán)境污染,這些污染氣體會(huì)造成人群慢性或急性中毒。
半導(dǎo)體常見有毒氣體:
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